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美国INFICON气体分析系统
INFICON Transpector HPR气体分析系统
一致的灵敏度*优污染控制
该INFICON Transpector HPR结合了Transpector RGA的高性能与校准参考，以执行工具诊断和监测的自动化工具。 结合INFICON的强大功能FabGuard传感器集成与分析系统 ，Transpector HPR具有自INFICON监控，以及监控的差异和缺陷的过程中工具的能力